Шефлер България ООД
ДРУГА ИНФОРМАЦИЯ
Система за избор на продукти и консултации medias
Ролкови направляващи системиKUVE (сачмени направляващи системи)КОНТАКТ
Литография
Високопрецизни линейни направляващи за координатни маси
За да се поставят структури върху чиповете, те се покриват с изключително светлочувствителен фотолак. Фотолакът се осветява през трафарет и се разгражда там, където се появява светлина.
При производството на полупроводници от следващо поколение се целят структурни размери от 60 nm, за да се постигне висока плътност на паметта и скорост на включване.
Координатни маси със задвижване чрез линейни двигатели осигуряват движението на подложката и проекционния трафарет. Основите на машината образуват стабилна, демпферираща вибрациите гранитна конструкция и високопрецизна направляваща, напр. ролкова ротационна система RUE на INA. Тази изключително безшумна направляваща се отличава с равномерно съпротивление на хода и преместването - за висока повтаряемост и точност при позиционирането.
